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產(chǎn)品目錄
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擴散爐
氮化鎵 (GAN)氧化爐 青島晨立電子有限公司
詳細說明
該設(shè)備用于氮化鎵(GAN)芯片生產(chǎn)工藝過程中的真空退火、合金、氧化、擴散等工藝。該系統(tǒng)具有精確溫度控制系統(tǒng)和真空壓力控制系統(tǒng)。
主要參數(shù):
工作溫度范圍: 600-1280 度。
使用溫度:1200 度。
每爐可處理 25 片。標準晶圓舟 25 片。
爐管有效口徑:滿足 6 寸片,可向下兼容 4、2 寸。
升溫功率:18KVA/每管 。
電源:三相五線制: 380V 三相五線。
具有斷偶、超溫報警以及二次保護功能。
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中國山東即墨市山東省青島市即墨區(qū)泰山三路285號聯(lián)東U谷即墨科技創(chuàng)新谷3號樓
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