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天津吉兆源科技有限公司
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| 遠(yuǎn)程等離子體源（Remote Plasma Source，RPS） |
是一種用于產(chǎn)生等離子體的裝置，通常被用于在真空環(huán)境中進行表面處理、材料改性、薄膜沉積等工藝，以及半導(dǎo)體刻蝕和薄膜設(shè)備的預(yù)處理反應(yīng)和清洗等。與傳統(tǒng)等離子體源不同的是，RPS通常不直接接觸要處理的表面，而是在一定距離之外產(chǎn)生等離子體，并將等離子體輸送到目標(biāo)表面，因此被稱為“遠(yuǎn)程等離子體源”。
應(yīng)用特征
采用新的固態(tài)微波源技術(shù)【非磁控管微波源】。具有很高的頻率、功率穩(wěn)定性，使用壽命長。
自主開發(fā)的微波匹配器，能實現(xiàn)在不同氣體條件下，快速進行微波源與等離子體的阻抗匹配。
等離子體發(fā)生器材質(zhì)可選，適用于多種氣體。
體積小、集成度高、便于更換。低顆粒污染;
獨特的等離子反應(yīng)腔設(shè)計，適用于多種氣體的電離與阻抗匹配。
系統(tǒng)運行時，氣體壓力適應(yīng)范圍寬。氣體電離率高、電離速度快。 |
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