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因此測(cè)試設(shè)備必須是的，可重復(fù)的和準(zhǔn)確的，測(cè)試系統(tǒng)還必須具有盡可能小的占地面積--因?yàn)槿魏伟雽?dǎo)體工廠的空間都非常寶貴，更重要的是，測(cè)試過(guò)程必須足夠快，以跟上微光刻機(jī)的輸出，現(xiàn)在，通過(guò)配置文件進(jìn)行增益調(diào)度可以讓半導(dǎo)體測(cè)試機(jī)上的一個(gè)控制器快速自動(dòng)調(diào)整參數(shù)。
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伺服驅(qū)動(dòng)器接地故障原因
1、電纜接線松動(dòng)或接觸不良：這是導(dǎo)致伺服驅(qū)動(dòng)器接地故障的常見(jiàn)原因之一。電纜的松動(dòng)或接觸不良可能導(dǎo)致電流無(wú)法正常流通，進(jìn)而引發(fā)接地故障。
2、地線接觸不良或者斷開(kāi)：地線的主要作用是將電氣設(shè)備的金屬外殼與大地相連，以防止設(shè)備漏電時(shí)對(duì)造成傷害。如果地線接觸不良或斷開(kāi)，將無(wú)法有效實(shí)現(xiàn)這一功能，從而可能導(dǎo)致接地故障。
3、伺服電機(jī)或驅(qū)動(dòng)器本身存在缺陷：這些缺陷可能包括內(nèi)部元件的損壞、設(shè)計(jì)缺陷或制造過(guò)程中的問(wèn)題等。這些缺陷可能導(dǎo)致設(shè)備在運(yùn)行時(shí)產(chǎn)生異常電流，進(jìn)而引發(fā)接地故障。
4、電磁干擾：伺服驅(qū)動(dòng)器在工作過(guò)程中產(chǎn)生的電磁干擾可能對(duì)接地系統(tǒng)造成影響，導(dǎo)致接地故障。
5、接地電阻過(guò)大：接地電阻過(guò)大可能是由于接地極埋設(shè)不當(dāng)、土壤電阻率過(guò)高或接地極銹蝕等原因造成的。過(guò)大的接地電阻會(huì)影響電氣設(shè)備的正常運(yùn)行，甚至引發(fā)安全事故。
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