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湘潭市宏鋒機(jī)械設(shè)備制造廠
| 聯(lián)系人：黃柳陽(yáng)
女士 (銷(xiāo)售主管) |
| 電 話：0731-58282058 |
手 機(jī)：18773272772  |
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| 多功能高不銹鋼真空磁控離子濺射鍍膜機(jī) |
| 多功能磁控濺射鍍膜機(jī)技術(shù)方案 多功能磁控濺射鍍膜機(jī)（高真空磁控濺射儀）是用磁控濺射的方法，制備金屬、合金、化合物、半導(dǎo)體、陶瓷、介質(zhì)復(fù)合膜及其它化學(xué)反應(yīng)膜等；適用于鍍制各種單層膜、多層膜、摻雜膜系及合金膜；可鍍制磁性材料和非磁性材料。 多功能磁控濺射鍍膜機(jī)-設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)特點(diǎn) 秉承設(shè)備為工藝實(shí)現(xiàn)提供實(shí)現(xiàn)手段的理念，我們做了如下設(shè)計(jì)和工程實(shí)現(xiàn)，實(shí)際運(yùn)行效果良好，為用戶(hù)的專(zhuān)用工藝實(shí)現(xiàn)提供了精準(zhǔn)的工藝設(shè)備方案。 靶材背面和濺射靶表面的結(jié)合處理 -靶材和靶面直接做到面接觸是很難的，如果做不到面接觸，接觸電阻將增大，導(dǎo)致離化電場(chǎng)的幅值不夠（接觸電阻增大，接觸面的電場(chǎng)分壓增大），導(dǎo)致鍍膜效果不好；電阻增大導(dǎo)致靶材發(fā)熱升溫，降低鍍膜質(zhì)量。 -靶材和靶面接觸不良，導(dǎo)致水冷效果不好，降低鍍膜質(zhì)量。 -增加一層特殊導(dǎo)電導(dǎo)熱的軟薄的物質(zhì)，保證面接觸。 |
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