INFICON B-A型皮拉尼復(fù)合真空計(jì), BPG400, 兩個(gè)真空計(jì)復(fù)合在一個(gè)小型單元中測量范圍從 5 x 10-10 毫巴至大氣壓 (3.8 x 10-10 乇至大氣壓). 復(fù)合技術(shù)降低了安裝,設(shè)置和集成的復(fù)雜性. 選 BPG400 用于可及的和可再現(xiàn)的過程, 在一個(gè)經(jīng)濟(jì)的真空計(jì)組件中執(zhí)行基本的壓強(qiáng)測量.
優(yōu)勢：
極寬的測量范圍從 5 x 10-10 毫巴至大氣壓 (3.8 x 10-10 乇至大氣壓)
過程壓強(qiáng)范圍從 10-8 … 10-2 毫巴,卓越的再現(xiàn)性 5%
皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù) B-A型系統(tǒng)防止燈絲過早燒毀和來自高壓強(qiáng)運(yùn)行的過度污染
長壽命的涂敷氧化釔的銥燈絲
可選圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口
自動高真空皮拉尼調(diào)整減少操作人員的干預(yù)
RoHS 兼容性
用途：
在半導(dǎo)體過程和傳送室中的壓強(qiáng)測量
工業(yè)鍍膜
在低至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制
技術(shù)規(guī)格
型號
燈絲 BPG400
單-涂銥氧化釔燈絲 BPG402-S
雙-涂銥氧化釔燈絲 BCG450
涂銥氧化釔燈絲/電容薄膜
測量范圍 5 × 10E-10至1000 mabr 5 × 10E-10至1500 mabr
精度（N2）
10E-8至10-2mbar（BPG400/BPG402-S）
10E-8至50mbar（僅BCG450）
50至950 mbar（僅BCG450）
950至1050 mbar（僅BCG450） ±15%讀數(shù) ±15%讀數(shù)
±5%讀數(shù)
±2%讀數(shù)
重復(fù)性
10E-8至10-2mbar ±5%讀數(shù)
除氣
P＜7.2 × 10E-6mbar 電子轟擊,至多3分鐘
輸出信號 電壓范圍：0至+10V模擬；可選RS485，Profibus-DP，DevicenNet
電源電壓
直流/安培 +20至+28Vdc
0.8A
電氣連接件 D-sub 15針；Profibus-DP/RS485（D-sub 9針+15針）；DeviceNet標(biāo)準(zhǔn)接頭
工作溫度 +0至+50℃
烘烤溫度（未工作）
法蘭處
延伸件
移除電子部分
80℃
150℃
150℃
防護(hù)等級 IP30
訂貨號：
BPG400 B-A型皮拉尼真空計(jì) DN 40 CF-R 353-50 |
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