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東莞市宏誠光學(xué)制品有限公司
| 聯(lián)系人：錢云蕾
先生 (業(yè)務(wù)總監(jiān)) |
| 電 話：0769-23106300 |
手 機(jī)：15112732962  |
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| 轉(zhuǎn)讓二手光弛1550鍍膜機(jī) |
產(chǎn)品名:OTFC- -1550DBI 型式:1500DBI
1.產(chǎn)品參數(shù):
真空室中1550 X 1800mm(H)
工件架φ1400mm工件架轉(zhuǎn)速10rpm to 30rpm (可變)
光學(xué)膜厚控制HOM2- R-VIS350A
波長范圍:350nm to 1100nm 光學(xué)膜厚監(jiān)控儀反射式/透射式
水晶式膜厚計(jì)XTC/3+6點(diǎn)式水晶傳感器
蒸發(fā)源電子槍2套
離子源17cmRF 離子源
機(jī)械泵:排氣系統(tǒng)2個擴(kuò)散泵Polycold(或2 個冷凝泵)
2.性能:達(dá)到壓力7.0X10-5Pa以下排氣時間20分 (大氣壓,1.3X10- 3Pa)基板溫度*高:350
3.工作條件:約5500mn(W) X 7200mm()X設(shè)備尺寸3700mm(H) 3相, 200v, 50/60Hz,電源約120KVA 水流量180 升/分以上 空氣壓力0. 5MPa以上
重量約11000k |
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