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車規(guī)AECQ100認證解析、車載IC芯片AECQ100認證測試

詳細說明

    AEC-Q100認證是什么

  AEC-Q100對IC的可靠性測試可細分為加速環(huán)境應力可靠性、加速壽命模擬可靠性、封裝可靠性、晶圓制程可靠性、電學參數(shù)驗證、缺陷篩查、包裝完整性試驗,且需要根據(jù)器件所能承受的溫度等級選擇測試條件。需要注意的是,第三方難以獨立完成AEC-Q100的驗證,需要晶圓供應商、封測廠配合完成,這更加考驗對認證試驗的整體把控能力。廣電計量將根據(jù)客戶的要求,依據(jù)標準對客戶的IC進行評估,出具合理的認證方案,從而助力IC的可靠性認證。

  如果成功完成根據(jù)本文件各要點需要的測試結(jié)果,那么將允許供應商聲稱他們的零件通過了AEC Q100認證。供應商可以與客戶協(xié)商,可以在樣品尺寸和條件的認證上比文件要求的要放寬些,但是只有完成要求實現(xiàn)的時候才能認為零件通過了AEC Q100認證。

  芯片可靠性驗證(RA):

  芯片級預處理(PC)&MSL試驗、J-STD-020&JESD22-A113;

  高溫存儲試驗(HTSL),JESD22-A103;

  溫度循環(huán)試驗(TC),JESD22-A104;

  溫濕度試驗(TH/THB),JESD22-A101;

  高加速應力試驗(HTST/HAST),JESD22-A110;

  高溫老化壽命試驗(HTOL),JESD22-A108;

  芯片靜電測試(ESD):

  人體放電模式測試(HBM),JS001;

  元器件充放電模式測試(CDM),JS002;

  閂鎖測試(LU),JESD78;

  芯片IC失效分析(FA):

  光學檢查(VI/OM);

  掃描電鏡檢查(FIB/SEM)

  微光分析定位(EMMI/InGaAs);

  OBIRCH;

  Micro-probe;

  聚焦離子束微觀分析(FIB)

  彈坑試驗(cratering)

  芯片開封(decap)

  芯片去層(delayer)

  晶格缺陷試驗(化學法)

  PN結(jié)染色/碼染色試驗

  推拉力測試(WBP/WBS)

  紅墨水試驗

  PCBA切片分析(X-section)

  芯片材料分析:

  高分辨TEM(形貌、膜厚測量、電子衍射、STEM、HAADF);

  SEM(形貌觀察、截面觀察、膜厚測量、EBSD)

  Raman(Raman光譜)

  AFM(微觀表面形貌分析、臺階測量)

  AEC-Q100試驗后芯片失效分析項目:

  形貌分析技術(shù):體視顯微鏡、金相顯微鏡、X射線透視、聲學掃描顯微鏡、掃描電鏡、透射電鏡、聚焦離子束。

  成分檢測技術(shù):X射線能譜EDX、俄歇能譜AES、二次離子質(zhì)譜SIMS、光譜、色譜、質(zhì)譜

  電分析技術(shù):I-V曲線、半導體參數(shù)、LCR參數(shù)、集成電路參數(shù)、頻譜分析、ESD參數(shù)、電子探針、機械探針、絕緣耐壓、繼電器特性。

  開封制樣技術(shù):化學開封、機械開封、等離子刻蝕、反應離子刻蝕、化學腐蝕、切片。

  缺陷定位技術(shù):液晶熱點、紅外熱像、電壓襯度

 
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