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產(chǎn)品目錄

FS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器

詳細說明

    FS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器



產(chǎn)品簡介:FS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這 系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片來制作,適用于各類清潔氣體。獨特的封裝技術使之可用于各類管徑,成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償,可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。



產(chǎn)品特點:



- 傳感器靈敏度高,有極小的始動流量



- 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳



- 感器的高精度計量



- 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高



- 傳感器的零點穩(wěn)定度高



- 全量程高穩(wěn)定性



- 全量程高精度和優(yōu)良的重復性



- 低功耗



- 低壓損



- 響應時間快



主要參數(shù):



性能參數(shù)



FS4001



單位



通 徑



1.0



1.8



mm



大流量



30, 100, 200



500, 1000



SCCM



量程比



≥100:1





精 度



±(1.5+0.2FS)



%



重復性



0.25



%讀數(shù)



零點輸出飄移



±30



mV



輸出飄移



±0.12



%/oC



響應時間



4, 8, 16, 33 , 65 , 131



mses



工作電源



8~18Vdc,50mA





輸出方式



線性,RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc





大流量壓損



350



300



pa



大工作壓力



0.5



MPa



工作溫度



-10 ~ +55



oC



存儲溫度



-20 ~ +65



oC



工作濕度



<95%RH(無結冰、無凝露)





機械接口



可拆式軟管接頭





校準方式



空氣(或其他氣體),20oC,101.325kPa





重量



15




 
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