高低溫真空模組,低溫模組,高溫模組,高溫電缸,低溫電缸可在10-7PA的真空環(huán)境下運(yùn)行,耐溫達(dá)200℃,真空模組的設(shè)計(jì)首要考慮機(jī)構(gòu)和材料。此系列產(chǎn)品大部分組件采用不銹鋼加工或熱膨脹系數(shù)相當(dāng)?shù)牟⑶页鰵饴实偷牟牧。此系列產(chǎn)品主要應(yīng)用于真空室。高溫室,高潔凈度環(huán)境。
特點(diǎn):
一體化設(shè)計(jì),可靠易用
標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計(jì)制造60,90,,120三種規(guī)格,可定制其他規(guī)格
工作環(huán)境溫度-196℃至200℃
適用真空度10-7PA
模塊化設(shè)計(jì)
免維護(hù)設(shè)計(jì)
承載,導(dǎo)向,驅(qū)動(dòng)一體
高承載,高精度,高速度
簡單易用,可靠性高,以保證高效率 
伺服電機(jī)與電動(dòng)缸的傳動(dòng)絲桿直接相連接,使伺服電機(jī)的編碼器直接反饋電動(dòng)缸移動(dòng)活塞桿的位移量,減少了中間環(huán)節(jié)的慣量和間隙,提高了控制性和控制精度。伺服電機(jī)與電動(dòng)缸整體相連,安裝容易、設(shè)定簡單、使用方便。
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