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成都米特爾德科技有限公司
| 聯(lián)系人:黃碧成
先生 (經(jīng)理) |
| 電 話:15002831619 |
手 機(jī):15002831619  |
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| MT-200X系列氣體混合裝置 |
總氣量范圍 0~200SLM(可在此范圍內(nèi)任意定制)
稀釋配比范圍 1ppm到100
流量單位 SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分) / SLM(標(biāo)準(zhǔn)升/分)
精度誤差 ±1%F.S.(可定制更高)
工作壓差范圍 0.1~0.5MPa
*高耐壓 3MPa(可定制更高)
對外單點(diǎn)泄漏率 ≤1×10-9Pa·m3/S(He)
響應(yīng)時間 ≤2sec
輸出信號 標(biāo)準(zhǔn)RS485.RS232(可選)
介質(zhì)輸入溫度 5~45℃
工作環(huán)境溫度 5~45℃
工作環(huán)境濕度 <80RH
供電電源 220VAC±10,50Hz
介質(zhì)接觸材質(zhì) 氟橡膠,硅橡膠,丁晴橡膠,聚四氟乙烯,金屬密封型
接頭尺寸 3mm,6mm, 1/8,1/4,
顯示方式 電腦/觸摸屏 |
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