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江西全立森凈化工程有限公司
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| LED無塵車間設(shè)計(jì)施工 |
LED無塵車間生產(chǎn)環(huán)境要求：
潔凈室的空氣潔凈度等級以及潔凈室形式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對生產(chǎn)環(huán)境的要求確定。
當(dāng)出現(xiàn)下列情況之一時，空氣凈化調(diào)節(jié)系統(tǒng)宜分開設(shè)置：
1 生產(chǎn)工藝中散發(fā)的物質(zhì)對其他工序的產(chǎn)品質(zhì)量及人員安全衛(wèi)生有影響；
2 溫濕度基數(shù)和允許波動范圍差別大的潔凈室；
3 凈化空調(diào)系統(tǒng)和一般空調(diào)系統(tǒng)；
4 潔凈室內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱、散濕量相差懸殊的潔凈室；
5 系統(tǒng)風(fēng)量過大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。
潔凈室內(nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設(shè)備和輔助設(shè)備，均應(yīng)設(shè)局部排風(fēng)裝置，排風(fēng)罩宜為密閉式。
排風(fēng)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的尾氣應(yīng)設(shè)就地處理裝置；
2 酸、堿排風(fēng)應(yīng)獨(dú)立設(shè)置系統(tǒng)，風(fēng)機(jī)的電機(jī)應(yīng)按一級負(fù)荷供電；
3 工藝設(shè)備的排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置備用風(fēng)機(jī)；
4 有冷凝液產(chǎn)生的酸、堿排風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)管宜設(shè)置坡度和排液口，且風(fēng)管系統(tǒng)應(yīng)采取防液體滲漏措施；
5 金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)采取防火、防爆措施；
6 酸、堿、硅烷排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管不應(yīng)穿越防火墻或通風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)機(jī)房的隔墻和樓板，當(dāng)必須穿越時，不得設(shè)置熔片式防火閥；
7 酸、堿排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)機(jī)應(yīng)設(shè)在廢氣處理設(shè)備的下風(fēng)側(cè)；
8 工藝設(shè)備的排風(fēng)溫度高于60℃時，排風(fēng)管應(yīng)設(shè)保溫措施；
9 工藝設(shè)備局部排風(fēng)系統(tǒng)的室外風(fēng)管應(yīng)根據(jù)當(dāng)?shù)貧庀髼l件設(shè)置防結(jié)露保溫措施；
10 潔凈室的排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防止室外氣流倒灌的措施。
換鞋間應(yīng)設(shè)置不低于10次／h的全室排風(fēng)系統(tǒng)，排風(fēng)口宜設(shè)置在下部；換鞋柜宜設(shè)置局部排風(fēng)措施；一次更衣間宜設(shè)置不低于5次／h的全室排風(fēng)系統(tǒng)。
凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)應(yīng)進(jìn)行集中處理，新風(fēng)處理機(jī)組的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 送風(fēng)機(jī)應(yīng)采取自動調(diào)速措施；
2 空氣宜經(jīng)過粗效、中效、高效過濾器三級處理；
3 新風(fēng)處理機(jī)組應(yīng)有良好的氣密性，在工作壓力下的漏風(fēng)率不得大于1％。
光刻間凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的循環(huán)風(fēng)宜采用風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組和干冷卻盤管處理，其他潔凈室凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的循環(huán)風(fēng)宜采用循環(huán)空氣處理機(jī)組處理。
金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積間的凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)應(yīng)獨(dú)立設(shè)置。
循環(huán)空氣處理機(jī)組宜采用干冷卻方式處理空氣。
循環(huán)空氣處理機(jī)組的風(fēng)機(jī)應(yīng)采取自動調(diào)速措施。
潔凈生產(chǎn)層凈高應(yīng)按照生產(chǎn)設(shè)備和物料運(yùn)輸設(shè)備尺寸、微環(huán)境裝置及潔凈氣流控制等因素確定，不宜低于3m。
上技術(shù)夾層凈高應(yīng)按照空調(diào)設(shè)備、管線布置、潔凈氣流控制等因素確定，不宜低于2m。
發(fā)光二極管生產(chǎn)宜包括外延片生長、管芯(芯片)制造、管芯(芯片)封裝三 |
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