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上海市首榮工業(yè)設(shè)備有限公司
| 聯(lián)系人：王威
先生 (市場部) |
| 電 話：021-67895686 |
手 機(jī)：18321006318  |
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| ORIBA STEC SEC-E40MK3質(zhì)量流量控制器 |
MARK3系列是在未改變質(zhì)量流量控制器所必須的品質(zhì)特性的條件下徹底實(shí)現(xiàn)成本降低的量產(chǎn)產(chǎn)品。材質(zhì)和泄漏規(guī)格則與一般型號產(chǎn)品的SEC-400、SEC-500系列完全一致。主要用途為制程用的氣體流量控制、根據(jù)重點(diǎn)關(guān)注于重復(fù)性以及限定氣體的種類、流量進(jìn)行大量生產(chǎn)、實(shí)現(xiàn)了大幅度的成本降低。最適合于定流量、長時(shí)間的穩(wěn)定控制重復(fù)控制的場合。而且也同樣適用于研究所的簡易流量控制。
特征
1.具有廣泛的用途
2.追求成本優(yōu)勢、實(shí)現(xiàn)成本降低
規(guī)格
型號 SEC- (質(zhì)量流量控制器) E40/E40MK3 E50/E50MK3
SEF- (質(zhì)量流量計(jì)) E40 E50
適用氣體種類*1 非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
氣體接觸部材質(zhì) SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
閥門型號 非通電時(shí) 關(guān)閉
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.) 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM 20/30 SLM
流量控制范圍
(適于SEC系列) 2〜100% F.S.
流量測量范圍
(適于SEF系列) 0〜100% F.S.
響應(yīng)速度 1秒以內(nèi)(T98)
流量精度 ±1% F.S.
直線性 ±0.5% F.S.
反復(fù)性 ±0.2% F.S.
工作差壓值值
(適于SEC系列) 10 SCCM〜5 SLM：50〜300kPa(d) 10〜30 SLM:100〜300kPa(d)
使用壓力
(適于SEF系列) 300kPa(G)以下
耐 壓 1MPa(G)以下
外部泄漏率 1×10-8Pa・m3/s(He)以下
使用環(huán)境溫度 5〜50℃(精度的確保：15〜35℃)
流量設(shè)定信號 0.1〜5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2〜100% F.S.
流量輸出信號 0〜5VDC(最小負(fù)荷電阻2kΩ)
驅(qū)動(dòng)電源 +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA ＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標(biāo)準(zhǔn)接頭*2 1/4SWL 類型 |
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