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江蘇明微電子有限公司
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先生 (經(jīng)理) |
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| 手 機(jī)：15371178646 |
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| UV機(jī) |
U V 機(jī) 特 點(diǎn)
適用于半導(dǎo)體晶圓減薄后和晶圓切割后UV膜解膠工序。
規(guī)格：6inch/8inch/12inch（型號HW-UV106/108/112)
■ 此外我們也能根據(jù)客戶需求，提供非標(biāo)產(chǎn)品.
該UV照射機(jī)時(shí)用來將切割制程中使用的UV膜的粘性減弱直至消除；
LED冷光源與汞燈組成的光源相比，更能實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定性、均勻性的照射；
UV照射機(jī)采用的LED冷光源是180度平射產(chǎn)品；
UV照射機(jī)采用采用掃描式平射產(chǎn)品，使UV膜的粘性減弱直至消除；
生產(chǎn)產(chǎn)能：60片晶圓/小時(shí)（原則上）；
小巧的桌上型系統(tǒng)設(shè)計(jì)；
采用液晶觸摸屏一鍵式操作;
開啟門時(shí)LED冷光源是關(guān)閉狀態(tài)，可以保護(hù)人體安全；
LED冷光源壽命是一般汞燈壽命的十倍；
LED冷光源至少可以連續(xù)工作5000H（頻繁啟動對冷光源無副作用） |
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