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上海仕同凈化工程設(shè)備有限公司
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潔凈廠房
潔凈廠房介紹
依據(jù)大氣污染物存在的形式，可以將大氣污染物分為顆粒物質(zhì)和氣態(tài)物質(zhì)。所謂顆粒物質(zhì)是指大氣中粒徑不同的固體、液體和氣溶膠體。
粒徑大于10微米的固體顆粒稱為降塵，由于重力的作用，能在較短時間內(nèi)沉降到地面；粒徑小于10微米的固體顆粒稱為飄塵，飄塵能夠長期地漂浮在大氣中；粒徑小于1微米稱為煙，通常煙是由燃燒過程產(chǎn)生的。霧是液體顆粒，其粒徑一般在0.1-100微米之間。氣溶膠體則是空氣中的固體和液體顆粒物質(zhì)與空氣一起結(jié)合成的懸浮體，它的粒徑在1微米以下，可以懸浮在大氣中。氣態(tài)物質(zhì)主要有含硫化合物、氮化合物、碳?xì)浠衔�、碳氧化合物、鹵素化合物等。
潔凈廠房的定義
該潔凈室的懸浮粒子濃度受控，其建造和使用方式是使進(jìn)入、產(chǎn)生、滯留于室內(nèi)的粒子*少；室內(nèi)其他參數(shù)，比如溫度、濕度、氣壓、按需要受控。
為什么需要潔凈廠房？
1、MOCVD的內(nèi)部腔體雜質(zhì)粒子不超過10個；
2、每做一道工序之前，都需要進(jìn)行清洗操作；
3、清洗使用的水是不導(dǎo)電的，電阻甚至在10MΩ以上；
4、使用的一切試劑都是電子純級的，氣體純度都有9N。
非潔凈環(huán)境的危害
1、生長外延時混入雜質(zhì)粒子，將導(dǎo)致量子阱結(jié)構(gòu)遭到破壞，可能使LED芯片喪失發(fā)光能力；
2、制作電極時混入雜質(zhì)粒子，將導(dǎo)致芯片ESD下降；
3、任何一道工序中芯片沾上雜質(zhì)粒子都會使LED穩(wěn)定性顯著下降！
如何實現(xiàn)一個潔凈廠房?
1、潔凈廠房位置選擇和總平面布置
2、初期廠房的建造（無油設(shè)備、先進(jìn)的空調(diào)機(jī)組、科學(xué)的廠房設(shè)計）
3、設(shè)備的安裝、調(diào)試（全部密封運(yùn)輸、現(xiàn)場拆封）
4、工作人員的潔凈處理
5、日常的保養(yǎng)、維護(hù)
潔凈廠房的工作原理
傳統(tǒng)通風(fēng)型潔凈室 單向流潔凈室
防靜電問題
器件具有線間距短、線細(xì)、集成度高，低功率、低耐壓和輸入阻抗高的特點，因而導(dǎo)致器件對靜電越來越敏感，稱之為靜電敏感（ESDS）器件。
高密度集成元件中，不論是MOS器件，還是雙極型器件都可能因靜電電場和靜電放電電流引起失效，或者造成難以被人們發(fā)現(xiàn)的“軟擊穿”現(xiàn)象，給整機(jī)留下潛在的隱患，直接影響著電子產(chǎn)品的質(zhì)量，壽命，可靠性和經(jīng)濟(jì)性。
靜電是如何產(chǎn)生的
靜電一般指靜止的電荷。指物體表面出現(xiàn)不平衡的電子由不足或過刺的電子總量決定表面電荷量,表面電子不足帶正電，表面電子過剩則帶負(fù)電。我們把電荷的產(chǎn)生和消失過程的電現(xiàn)象稱為靜電現(xiàn)象。
日常各種行動所產(chǎn)生的靜電強(qiáng)度與環(huán)境的關(guān)系：在我們?nèi)粘Ｉ钪校缱邉�、翻書、磁帶旋轉(zhuǎn)．將唱片從袋中抽出、穿衣、脫衣（特別是化纖制品）甚至空氣流動都會產(chǎn)生靜電。 靜電的強(qiáng)度因為物體材質(zhì)、摩擦與相對運(yùn)動的速度、壓力 |
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