一、儀器用途
TGB-500 透反射式硅片檢測顯微鏡主要用于太陽能電池硅片的觀察.它能生產(chǎn)高清晰的圖像,立體感較強(qiáng)，成像較清晰和寬闊，又具有長工作距離，并具有較大的視場范圍和相應(yīng)的放大倍數(shù),配有高像素的數(shù)碼攝像頭,可以很清楚地看到硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析服務(wù).是太陽能電池硅片的普遍專用顯微鏡。
硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括: 顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行質(zhì)量控制最普通的儀器.更多型號，請參看我們的網(wǎng)站!上海團(tuán)結(jié)儀器制造廠021-68553288 www.tjmade.com
二、技術(shù)參數(shù)
1.目鏡
類型 放大倍數(shù) 視場(mm)
大視野目鏡 10X Φ22
2.物鏡
類別 放大倍數(shù) 數(shù)值孔徑(NA) 工作距離(mm)
明暗場無窮遠(yuǎn)長距平場消色差物鏡 5X 0.12 9.7
10X 0.25 9.3
20X 0.40 7.2
40X 0.60 3.7
3.光學(xué)放大倍數(shù)：50X 100X 200X 400X
4.三目鏡,傾斜30?,(內(nèi)置檢偏振片,可進(jìn)行切換)
5.雙層機(jī)械移動式(尺寸:210mmX140mm,移動范圍:75mmX50mm)
6.粗微動同軸調(diào)焦, 微動格值:2μm,帶鎖緊和限位裝置
7.照明系統(tǒng)：落射 6V 20W 鹵素?zé)?亮度可調(diào),帶視場光欄、孔徑光欄、起偏振片,
透射 6V 20W 鹵素?zé)?亮度可調(diào),內(nèi)置視場光欄, 藍(lán)濾色片和磨砂玻璃
8.阿貝聚光鏡NA.1.25可上下升降
9.防霉:特有的防霉系統(tǒng)，
10.成像系統(tǒng):高像素的CCD攝像頭
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三、系統(tǒng)組成
(TGB-500)：1.硅片顯微微 2.適配鏡 3.CCD攝像器 4.A/D圖像采集卡
四、總放大參考倍數(shù)
TGB-500：50--2000倍
五、選購件
1.圖像測量軟件 2.目鏡： 20X 10X(帶刻度) 3.物鏡：50X 60X 80X 100X更多型號，請參看我們的網(wǎng)站!上海團(tuán)結(jié)儀器制造廠021-68553288 www.tjmade.com |
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