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RTP快速退火爐

RTP快速退火爐//RTP快速退火爐

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公　司：諾巴迪材料科技有限公司

發(fā)布時(shí)間：2016年04月26日

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公司主頁：	http://nbdkj863.qy6.com.cn(加入收藏)

詳細(xì)說明

商品簡述：NBD T系列高溫快速熱處理退火爐簡稱RTP。
該產(chǎn)品采用國際先進(jìn)制造工藝，造型新穎結(jié)構(gòu)合理；
目前已被各種試樣實(shí)驗(yàn)多次驗(yàn)證，并已廣泛用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領(lǐng)域；

該系統(tǒng)主要用于：
1.可滿足離子注入后的快速退火；
2.也可用于歐姆接觸快速合金；
3.還可用于硅化物合金退火，氧化物生長；
4.以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。
該設(shè)備是國家專利保護(hù)產(chǎn)品，專利號(hào)：CN201310005931.6

RTP快速退火爐主要技術(shù)參數(shù)
型號(hào) *高
溫度 *快升溫速率
℃/S 管徑處理晶片加熱區(qū) 恒溫區(qū)±2℃ 外形尺寸mm 功率重量
(內(nèi))mm 尺寸 in 長度mm 長度mm 長高深 Kg(約）
NBD-HR1200-110IT-170 1200℃ 500 103 4″ 200 120 800 540 750 AC380V15kw 4

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