一.概述
質(zhì)量流量控制器 用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。TS170采用熱式測量原理，直接用兩支快速反應(yīng)的鎧裝傳感器測量氣體流量。由于沒有層流元件，并采用哈氏合金傳感器，用于易結(jié)晶和腐蝕性的氣體測量。對低壓管道或者壓力損失小的應(yīng)用，TS170也同樣適用。
二.使用范圍
它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。
其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
三.產(chǎn)品特點
●直接熱式原理，無層流元件
●無壓損,抗結(jié)晶,抗腐蝕
●適用于各種低壓和高壓管道
●精確測量和控制氣體的質(zhì)量流量
●預(yù)熱時間短,零漂小，可靠性高
●多種氣體可選,也可自行輸入
四.技術(shù)參數(shù)
1 量程范圍 （0~5，10,20,30,50,100,200,300,500）SCCM(ml/min)
（0~1,2,3,5,10） SLM(L/min)
2 準(zhǔn)確度 +1.5%F.S
3 線性 +0.5~1.5%F.S
4 重復(fù)精度 +0.2%F.S
5 響應(yīng)時間 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec
6 工作壓差 （0.1~0.5）MPa
7 耐壓 3MPa
8 工作環(huán)境溫度 0~70℃
9 數(shù)字量 RS485 MODBUS協(xié)議
10 模擬量 DC 0~5V ，4~20mA 可選
11 供電 DC +15V/24V 可選，流量計＜50mA，控制器＜200mA
12 電氣連接 DB15
13 漏率 1×10¬-8SCCSHe
14 底座材質(zhì) 316L不銹鋼
15 密封材質(zhì) 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠
16 氣路街頭 Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
注意:
質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮氣(N₂)標(biāo)定.
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為:SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分); SLM (標(biāo)準(zhǔn)升/分)
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為： 溫度-----273.15K (0℃);
氣壓-----101325 Pa （760mm Hg）
F.S (Full Scale); 滿量程值 |
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