| 晶圓無塵真空氮?dú)夂婵鞠渥鳛榘雽?dǎo)體制造中的關(guān)鍵設(shè)備，其核心技術(shù)在于真空環(huán)境控制、氮?dú)夥諊S持以及精密溫控系統(tǒng)的協(xié)同運(yùn)作。設(shè)備首先通過多級(jí)真空泵組實(shí)現(xiàn)10-3Pa級(jí)高真空環(huán)境，消除空氣分子對(duì)晶圓表面的氧化影響。真空腔體采用316L不銹鋼材質(zhì)配合磁流體密封技術(shù)，確保真空度穩(wěn)定性。氮?dú)夤┙o系統(tǒng)采用99.9999%超高純氮?dú)�，通過質(zhì)量流量控制器實(shí)現(xiàn)進(jìn)氣速率0.5-5L/min的精確調(diào)節(jié)，維持工作壓力在100-500Pa范圍。加熱子系統(tǒng)包含石英紅外加熱管與氧化鋁陶瓷加熱板的復(fù)合結(jié)構(gòu)，配合PID算法實(shí)現(xiàn)室溫至450℃的±0.5℃控溫精度，升溫速率1-10℃/min可調(diào)。氣流動(dòng)力學(xué)設(shè)計(jì)采用Computational Fluid Dynamics優(yōu)化，確保晶圓表面風(fēng)速均勻性≤5%。設(shè)備集成HEPA與ULPA雙重過濾系統(tǒng)，達(dá)到ISO Class 1級(jí)潔凈標(biāo)準(zhǔn)。智能控制系統(tǒng)通過PLC與觸摸屏人機(jī)界面，實(shí)現(xiàn)真空度、溫度、氮?dú)饬髁康?0余項(xiàng)參數(shù)的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)與自動(dòng)調(diào)節(jié)，具備故障自診斷與數(shù)據(jù)追溯功能。設(shè)備整體符合SEMI F47標(biāo)準(zhǔn)，MTBF超過10萬小時(shí)，特別適用于28nm以下先進(jìn)制程的晶圓烘烤工藝。 |
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