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氮化鎵 (GAN)氧化爐 青島晨立電子有限公司 氮化鎵 (GAN)氧化爐 青島晨立電子有限公司//氮化鎵 (GAN)氧化爐 青島晨立電子有限公司

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公 司: 青島晨立電子有限公司 
發(fā)布時間:2024年10月23日
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公 司:青島晨立電子有限公司

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詳細(xì)說明

    該設(shè)備用于氮化鎵(GAN)芯片生產(chǎn)工藝過程中的真空退火、合金、氧化、擴(kuò)散等工藝。該系統(tǒng)具有精確溫度控制系統(tǒng)和真空壓力控制系統(tǒng)。

主要參數(shù):

工作溫度范圍: 600-1280 度。

使用溫度:1200 度。

每爐可處理 25 片。標(biāo)準(zhǔn)晶圓舟 25 片。

爐管有效口徑:滿足 6 寸片,可向下兼容 4、2 寸。

升溫功率:18KVA/每管 。

電源:三相五線制: 380V 三相五線。

具有斷偶、超溫報警以及二次保護(hù)功能。


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