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遠(yuǎn)程等離子體源（RPS）

遠(yuǎn)程等離子體源（RPS）//遠(yuǎn)程等離子體源（RPS）

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公　司：天津吉兆源科技有限公司

發(fā)布時(shí)間：2024年10月18日

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詳細(xì)說明

是一種用于產(chǎn)生等離子體的裝置，通常被用于在真空環(huán)境中進(jìn)行表面處理、材料改性、薄膜沉積等工藝，以及半導(dǎo)體刻蝕和薄膜設(shè)備的預(yù)處理反應(yīng)和清洗等。與傳統(tǒng)等離子體源不同的是，RPS通常不直接接觸要處理的表面，而是在一定距離之外產(chǎn)生等離子體，并將等離子體輸送到目標(biāo)表面，因此被稱為“遠(yuǎn)程等離子體源”。

應(yīng)用特征

采用新的固態(tài)微波源技術(shù)【非磁控管微波源】。具有很高的頻率、功率穩(wěn)定性，使用壽命長(zhǎng)。

自主開發(fā)的微波匹配器，能實(shí)現(xiàn)在不同氣體條件下，快速進(jìn)行微波源與等離子體的阻抗匹配。

等離子體發(fā)生器材質(zhì)可選，適用于多種氣體。

體積小、集成度高、便于更換。低顆粒污染;

獨(dú)特的等離子反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，適用于多種氣體的電離與阻抗匹配。

系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)，氣體壓力適應(yīng)范圍寬。氣體電離率高、電離速度快。

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