電子半導(dǎo)體用超純水設(shè)備
典型工藝流程：
1 預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-粗混床-精混床-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過(guò)濾器-用水對(duì)象(≥18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
2 預(yù)處理-反滲透-EDI裝置-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過(guò)濾器-用水對(duì)象(≥18MΩ.CM)(新工藝)
3 預(yù)處理-一級(jí)反滲透-二級(jí)反滲透-EDI裝置-紫外線殺菌器-精密過(guò)濾器-用水對(duì)象(≥15MΩ.CM) (新工藝)
4 預(yù)處理-反滲透-EDI裝置-紫外線殺菌器-精密過(guò)濾器-用水對(duì)象(≥15MΩ.CM)(新工藝)
5 預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-粗混合床-精混合床-紫外線殺菌器-精密過(guò)濾器-用水對(duì)象 (≥15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
6 預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-粗混合床-精密過(guò)濾器-用水對(duì)象 (≥5MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)：
達(dá)到美國(guó)SEMI標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)家電子級(jí)純水標(biāo)準(zhǔn)
設(shè)備特點(diǎn)：
為滿足用戶需要，達(dá)到符合標(biāo)準(zhǔn)的水質(zhì)，盡可能地減少各級(jí)的污染，延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命、降低操作人員的維護(hù)工作量。在工藝設(shè)計(jì)上，取達(dá)到國(guó)家自來(lái)水標(biāo)準(zhǔn)的水為源水，再設(shè)有介質(zhì)過(guò)濾器，活性碳過(guò)濾器，鈉離子軟化器、精密過(guò)濾器等預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床系統(tǒng)(EDI電除鹽系統(tǒng))等。 系統(tǒng)中水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵均設(shè)有壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測(cè)控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無(wú)人職守，同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。 |
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