產(chǎn)品描述
PKWL70-080U是一款超緊湊的亞納米閉環(huán)控制掃描臺，每個軸都經(jīng)過機械預(yù)加載。獨特的產(chǎn)品設(shè)計非常緊湊，在XZ運動軸上的運動均可達80μm（閉環(huán)）行程，并且由于柔性機械設(shè)計而實現(xiàn)了無間隙的平行運動。其緊湊的設(shè)計使其是許多應(yīng)用的理想工具，例如：光纖對準(zhǔn)、雙光子聚合和激光寫入應(yīng)用等。
可以選擇使用集成的SGS測量系統(tǒng)來克服遲滯的影響，并且PKWL70-080U定位系統(tǒng)可以配備電容測量系統(tǒng)，PKWL70-080U壓電掃描臺可以輕松地與其他機械定位系統(tǒng)結(jié)合使用。
PKWL70-080U系列非常適合從光學(xué)研究到OEM系統(tǒng)的各種應(yīng)用。非常適合即要求有孔徑又對體積有限制的應(yīng)用。
本系列產(chǎn)品種類包括X、Z、XZ、XY、XYZ軸運動系統(tǒng)版本。請參照相關(guān)型號介紹。
產(chǎn)品特性
—XZ位移：80μm（閉環(huán)）
—中孔尺寸：Ø35mm
—*大承載能力：0.6Kg
—高度緊湊型設(shè)計
—高精度柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)導(dǎo)向
選配功能
—可定制轉(zhuǎn)接裝置及中心孔徑大小
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系
—可選擇XYZ軸版本（80μm）
應(yīng)用領(lǐng)域
—掃描顯微鏡
—超分辨率顯微鏡
—掩模、晶圓定位
—干涉測量、測量技術(shù)
—顯微操縱 |
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光學(xué)儀器
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