產(chǎn)品描述
顯微鏡中的物鏡對準通常需要一個開放的方形中心孔徑，PK2L80-080U壓電掃描臺（帶有45x45mm的中心孔）是針對此類應用而開發(fā)的，每個軸都經(jīng)過機械預加載。獨特的產(chǎn)品設計非常緊湊，在XY運動軸上的運動可達80μm（閉環(huán)），并且由于柔性機械設計而實現(xiàn)了無間隙的平行運動。
可以選擇使用集成的SGS測量系統(tǒng)來克服遲滯的影響，并且PK2L80-080U定位系統(tǒng)可以配備電容測量系統(tǒng)，PK2L80-080U壓電掃描臺可以輕松地與其他機械定位系統(tǒng)結(jié)合使用。
PK2L80-080U系列非常適合從光學研究到OEM系統(tǒng)的各種應用。
本系列產(chǎn)品種類包括X、Z、XZ、XY、XYZ軸運動系統(tǒng)版本。請參照相關型號介紹。
產(chǎn)品特性
—XY位移：80μm（閉環(huán)）
—方形中孔尺寸：45x45mm
—*大承載能力：0.6Kg
—緊湊型設計
—高精度柔性導向
選配功能
—可定制轉(zhuǎn)接裝置及中心孔徑大小
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系
—可選擇XYZ軸版本（80μm）
應用領域
—納米壓印技術
—共聚焦顯微/掃描顯微
—掩模、晶圓定位
—表面測量技術
—圖像處理與穩(wěn)定 |
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