產(chǎn)品描述
PKVL70-080U/160U/240U為定制型產(chǎn)品，專為有空間限制應(yīng)用而設(shè)計的，超緊湊尺寸、超低外形結(jié)構(gòu)，便于安裝集成在設(shè)備中。多種規(guī)格產(chǎn)品行程便于用戶在不同應(yīng)用場合進行選擇對應(yīng)產(chǎn)品。
壓電掃描臺移動面可放置物鏡進行Z軸物鏡聚焦操作，可提高圖像分辨率。移動面可以預定制多種安裝接口尺寸，方便各種轉(zhuǎn)接工裝的集成。
顯微鏡中的探頭對準通常需要一個開放的中心空間（例如，用于通過光），針對此類應(yīng)用開發(fā)了該系列掃描臺，該平臺具有35 mm的中心孔。該壓電系統(tǒng)非常適合于動態(tài)應(yīng)用，可以使用集成的位置傳感測量系統(tǒng)來克服光刻的影響。
壓電掃描臺可輕松與其他機械定位系統(tǒng)結(jié)合使用，非常適合從光學研究到OEM系統(tǒng)的各種應(yīng)用。
PKVL70-080U/160U/240U壓電陶瓷掃描臺可選擇位置反饋閉環(huán)控制的版本，閉環(huán)版本品無遲滯和蠕變特性具有更高的位置線性精度和重復定位精度。
產(chǎn)品特性
—Z位移：80μm/160μm/240μm（閉環(huán)）
—中孔尺寸：Ø35mm
—*大承載能力：800g
—緊湊型設(shè)計
—高精度柔性導向
選配功能
—可定制轉(zhuǎn)接裝置及中心孔徑大小
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系
—可選擇XYZ軸版本（80μm）
應(yīng)用領(lǐng)域
—掃描顯微鏡
—超分辨率顯微鏡
—掩模、晶圓定位
—干涉測量、測量技術(shù)
—顯微操縱 |
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