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Z軸壓電陶瓷納米臺(tái)-上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司

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公　司：上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司

發(fā)布時(shí)間：2022年05月29日

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詳細(xì)說(shuō)明

產(chǎn)品描述
PSVL54-200U緊湊型線性納米定位臺(tái)，沿Z方向可提供200μm行程的運(yùn)動(dòng)。其緊湊的設(shè)計(jì)使其成為許多光子學(xué)和光纖定位應(yīng)用的理想工具。
Z軸納米定位線性位移臺(tái)是基于壓電壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的線性位移臺(tái)，由于固態(tài)彎曲和平行結(jié)構(gòu)，這些壓電平臺(tái)可以在X和Z方向上移動(dòng)而沒(méi)有任何機(jī)械間隙。它們可提供比機(jī)械或機(jī)電系統(tǒng)更高的分辨率。本系列產(chǎn)品包含X、XY、XZ、XYZ產(chǎn)品可供用戶選擇。
PSVL54-200U系列位移臺(tái)可以輕松地與XY和壓電偏轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)結(jié)合使用，以提供所有自由度的定位。
閉環(huán)版本具有高分辨率應(yīng)變片式位置傳感器，可實(shí)現(xiàn)高精度和可重復(fù)的運(yùn)動(dòng)，還可以補(bǔ)償壓電陶瓷的的蠕變。傳感器采用全閉環(huán)電橋設(shè)計(jì)。它可以在開(kāi)環(huán)或閉環(huán)控制中運(yùn)行。
PSVL54-200U非常適用于小部件（例如反射鏡和激光二極管）的納米級(jí)精確定位，特別是在需要長(zhǎng)期穩(wěn)定性的應(yīng)用中。
產(chǎn)品特性
—高柔性鉸鏈確保高可靠性
—運(yùn)動(dòng)可達(dá)200μm（閉環(huán)）
—集成式杠桿傳動(dòng)
—可提供X向位移臺(tái)、版本包含XY、XZ和XYZ版本
選配功能
—可定制轉(zhuǎn)接裝置
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長(zhǎng)度
—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系
—可定制固定及負(fù)載安裝孔位
應(yīng)用領(lǐng)域
—光纖定位，激光光學(xué)
—表面測(cè)量技術(shù)
—半導(dǎo)體計(jì)量學(xué)
光子聚合、光纖定位

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