FS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器
產(chǎn)品簡介：FS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這 系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。獨特的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
產(chǎn)品特點：
- 傳感器靈敏度高,有極小的始動流量
- 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳
- 感器的高精度計量
- 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
- 傳感器的零點穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性
- 全量程高精度和優(yōu)良的重復(fù)性
- 低功耗
- 低壓損
- 響應(yīng)時間快
主要參數(shù)：
性能參數(shù)
FS4001
單位
通 徑
1.0
1.8
mm
大流量
30, 100, 200
500, 1000
SCCM
量程比
≥100:1
精 度
±(1.5+0.2FS)
%
重復(fù)性
0.25
%讀數(shù)
零點輸出飄移
±30
mV
輸出飄移
±0.12
%/oC
響應(yīng)時間
4, 8, 16, 33 , 65 , 131
mses
工作電源
8~18Vdc,50mA
輸出方式
線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc
大流量壓損
350
300
pa
大工作壓力
0.5
MPa
工作溫度
-10 ~ +55
oC
存儲溫度
-20 ~ +65
oC
工作濕度
<95%RH（無結(jié)冰、無凝露）
機械接口
可拆式軟管接頭
校準(zhǔn)方式
空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa
重量
15
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