氦氣（真空模式）*低可檢漏率 mbar•L/s <5E-12
氦氣（吸槍模式）*低可檢漏率 mbar•L/s 5E-8
GROSS 模式*大進氣口壓力 mbar 15
FINE 模式*大進氣口壓力 mbar 2
ULTRA 模式*大進氣口壓力 mbar 0.4
抽真空期間的抽氣能力 m3/h 16 at 50 Hz
GROSS 模式氦氣抽氣能力 L/s max.8
FINE 模式氦氣抽氣能力 L/s 7
ULTRA 模式氦氣抽氣能力 L/s 2.5
可檢測質(zhì)量數(shù) 2,3,4 amu
質(zhì)譜儀扇形場 180°
燈絲離子源銥/氧化釔涂層 2
內(nèi)置校準(zhǔn)測試漏孔 mbar•L/s E-7
測試端口
可調(diào)觸發(fā)器 2
接口 RS232
圖形記錄器輸出 V 2x10
輸入/輸出 PLC compatible
允許的環(huán)境溫度（操作過程中） °C +10.....+40
保護類型 IP 20
重量 kg 110
尺寸（長 x 寬 x 高） mm 1068x525x850
電源電壓 V(ac) 230(+-10%)50Hz
功耗 VA 1100 |
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